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產品簡介
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HEMADE MC12晶圓加熱盤擁有寬泛的溫度測試范圍，緊湊的卡盤設計和穩定的溫度控制系統。我們提供多種定制服務，根據客戶的實驗需求對諸如平面度，溫度范圍，升降溫速率等各種參數進行調整。
HEMADE MC12晶圓加熱盤我們也可以按照客戶的需求定制不同尺寸的溫控臺面和樣品夾具。
產品參數：
1.溫度范圍： -50℃~300℃（可定制）
2.加熱區： 12寸（4寸，6寸，8寸）
3.最大升溫速率： 10℃/min
4.溫控精度： 0.1℃
5.溫度均勻性： 30~200℃ ＜ ±2℃，200~300℃ ＜ ±1%（φ300mm 均勻度面積）
| 型號 | MC12 | |
| 溫控模塊 | 溫控范圍 | -50°C~300°C* |
| 加熱區 | 12寸（4寸，6寸，8寸）* | |
| 最大升溫速率 | 0-10℃/min* | |
| 溫控精度： | 0.1°C | |
| 溫度均勻性： | 30~200℃ ＜ ±2℃，200~300℃ ＜ ±1%（φ300mm 均勻度面積） | |
| 基本配置 | 晶圓加熱盤x1、溫控系統x1、循環水系統x1、溫控軟件 | |
| 選配 | 其他定制 | |
| 備注 | 以上為默認參數 * 為可定制項 | |
| 其他可選型號 | 按需求進行配置 | |
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